1979年 東北大学工学部電子工学科卒業
1981年 同大学院工学研究科修士課程終了
1984年 同大学院博士課程修了、工学博士
●職歴
東北大学工学部、助手、助教授
この間、スイス・ヌーシャテル大学研究員（1990￣1991） 米国マサチューセッツ工科大学訪問研究員（1991）
1994年早稲田大学理工学部助教授を経て1997年同教授
●学外活動
MEMS（1997）、MicroTAS (2002)　国際会議議長、
電子情報技術産業協会専門委員会委員長など
現在 IEEE　Journal of Micro Electro Mechanical Systems Editor
Sensors & Actuators B: MicroTAS Editor 　　
●受賞
電子通信学会論文賞（1985年度）
科学計測振興会賞（1993年）

［研究内容］
半導体集積回路の微細加工技術をもとにしたマイクロ・ナノ加工技術を研究し、化学、バイオ、環境、宇宙開発などの分野で実践的に役に立つマイクロ・ナノデバイスの開発を進めています。また、化学/生化学分析・合成や医療診断への応用を目的として、これらのデバイスを組み合わせた高機能マイクロ・ナノシステムの研究・開発を行っています。特に、センサや流体制御素子など、システム化のキーデバイスとなる要素開発に重点をおいて研究を進めています。